集成電路制造業(yè)是需要在一個(gè)超凈環(huán)境中進(jìn)行的，它是使用超純材料進(jìn)行超精細(xì)加工的行業(yè)。集成電路制造對(duì)潔凈室環(huán)境的控制有嚴(yán)格的要求，不同的工藝對(duì)清潔度有不同的要求。例如，工采網(wǎng)還了解到光刻需要1級(jí)微環(huán)境，而化學(xué)機(jī)械拋光需要1000級(jí)環(huán)境。
半導(dǎo)體集成電路在生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)接觸到很多污染物，比如無(wú)機(jī)離子、有機(jī)物質(zhì)、微生物、氣體雜質(zhì)等等。另外，廣義而言，不適當(dāng)?shù)臏囟?、濕度、光照、靜電超標(biāo)、電磁噪聲、空氣噪聲和微振動(dòng)也是特殊的污染物。
其中，當(dāng)顆粒雜質(zhì)、無(wú)機(jī)離子、有機(jī)物質(zhì)、微生物和氣體雜質(zhì)的含量超過(guò)一定限度時(shí)，集成電路產(chǎn)品會(huì)出現(xiàn)表面劃傷、圖形斷裂、短路、針孔、脫皮等現(xiàn)象。導(dǎo)致電路泄漏和異常電氣特性，輕則影響電路性能和使用壽命，重則導(dǎo)致電路報(bào)廢。
通常，污染導(dǎo)致的電路產(chǎn)品故障率可能高達(dá)60%。簡(jiǎn)言之，集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān)，而缺陷密度與空氣中的粒子數(shù)有關(guān)。因此，隨著集成電路的迅速發(fā)展，不僅對(duì)控制空氣中顆粒的大小要求極高，而且對(duì)控制顆粒的數(shù)量也要求極高。同時(shí)，對(duì)超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境中無(wú)塵車(chē)間項(xiàng)目的化學(xué)污染控制也有相關(guān)要求。
鑒于這種情況，就需要使用遠(yuǎn)程空氣塵埃粒子計(jì)數(shù)器來(lái)對(duì)半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)車(chē)間的環(huán)境進(jìn)行監(jiān)測(cè)，保證產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境達(dá)到潔凈標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)于空氣塵埃粒子計(jì)數(shù)器的選擇，工采網(wǎng)技術(shù)工程師建議使用美國(guó) Particles Plus Inc. 遠(yuǎn)程空氣塵埃粒子計(jì)數(shù)器 - 5301,配置簡(jiǎn)單，可從一個(gè)儀器轉(zhuǎn)移到另一個(gè)儀器,易于清潔和擦拭與小的粒子陷阱,多功能安裝選項(xiàng),無(wú)縫集成到設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)。
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