在特種氣體的各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域中,特種氣體廣泛應(yīng)用于集成電路、液晶面板、LED、光纖通信、光伏等行業(yè),電子半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)μ胤N氣體的純度和質(zhì)量穩(wěn)定性要求最高。作為制造集成電路的關(guān)鍵材料,隨著下游工業(yè)技術(shù)的快速迭代,對(duì)特種氣體的純度和精度要求不斷提高。在工藝過(guò)程中,氣體純度要求通常高于6N(99.9999%)。
半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)氣源及其供應(yīng)系統(tǒng)有著嚴(yán)格的要求。電子氣的深度凈化難度大,純度是衡量氣體質(zhì)量最重要的指標(biāo)。芯片加工過(guò)程中,氣體純度的微小差異將導(dǎo)致整個(gè)產(chǎn)品性能降低甚至報(bào)廢。
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在電子工業(yè)中,高純笑氣在薄膜晶體管(TFT-LED)和OLED顯示屏的制作工藝中起著至關(guān)重要的作用,需求迅速上升,其未來(lái)發(fā)展前景良好。高純度的一氧化二氮用于微電子和光電子器件的生產(chǎn)。在半導(dǎo)體和發(fā)光二極管芯片的制造中,笑氣反應(yīng)生成的SiO2薄膜沉積在硅襯底上,作為緩沖層,防止有害雜質(zhì)的進(jìn)入。N2O的純度直接影響SiO2薄膜的純度,影響電子器件的性能。
為了保證電子電路產(chǎn)品品質(zhì)可以使用笑氣傳感器來(lái)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)笑氣純度,工采網(wǎng)代理了意大利Novasis 紅外笑氣傳感器/N2O傳感器模塊 - NG2-F-3,采用雙通道非分光紅外(NDIR)方式,可自動(dòng)溫度補(bǔ)償,能需求集成到現(xiàn)有的測(cè)量系統(tǒng)或監(jiān)測(cè)儀器中。

在平板顯示領(lǐng)域,薄膜晶體管占據(jù)了主流顯示器的市場(chǎng)份額,但OLED(有機(jī)發(fā)光二極管)生產(chǎn)的顯示屏已被應(yīng)用于高端產(chǎn)品,未來(lái)還將有更大的發(fā)展。笑氣在它們的制造中發(fā)揮了重要作用,現(xiàn)在顯示器形成的絕緣保護(hù)膜更多地是通過(guò)笑氣和氧化硅的反應(yīng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。
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