在半導(dǎo)體制造過程中，保持晶圓的高潔凈度和低氧化風(fēng)險(xiǎn)是很重要的。Load Port作為EFEM（設(shè)備前端模塊）的關(guān)鍵組件之一，在傳輸晶圓時(shí)扮演著重要角色。通過N2 Purge功能向FOUP（Front Opening Unified Pod）載具內(nèi)填充氮?dú)猓∟2），可以有效降低晶圓的氧化風(fēng)險(xiǎn)，并維持其干燥狀態(tài)。工采網(wǎng)將詳細(xì)介紹熒光氧氣傳感器在這一過程中的應(yīng)用及其重要作用。
EFEM與Load Port概述
EFEM（設(shè)備前端模塊） 是一種在高潔凈環(huán)境下工作的晶圓前端傳輸系統(tǒng)，通過精密機(jī)械手將單片晶圓精準(zhǔn)地傳輸至工藝和檢測(cè)模塊。EFEM的核心部件包括：
Load Port：用于裝載和卸載晶圓載體。
半導(dǎo)體Load Port，也稱作晶圓裝卸機(jī)或晶圓載入機(jī)，是安裝在設(shè)備前端模塊（EFEM）的關(guān)鍵設(shè)備。它的主要功能是作為晶圓（Wafer）進(jìn)出EFEM的窗口，實(shí)現(xiàn)晶圓的自動(dòng)裝載和卸載。這一過程需要保持晶圓的潔凈度，以確保半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的質(zhì)量。
Load Port的設(shè)計(jì)支持卓越的可靠性和超凈性能，能夠最大程度地實(shí)現(xiàn)交互操作性、無縫互換性和易于配置。它與所有手動(dòng)或通過AMHS（自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)）車輛交付的符合SEMI要求的FOUP（前開式晶圓傳送盒）和自動(dòng)前開式裝運(yùn)箱（FOSB）兼容。
EFEM通過微環(huán)境控制，確保了晶圓傳輸過程的潔凈度，從而實(shí)現(xiàn)了從下線到出廠的全流程管理。
Load Port的N2 Purge功能
在半導(dǎo)體廠內(nèi)，Load Port的N2 Purge功能非常重要。它通過向FOUP載具內(nèi)填充惰性氣體（氮?dú)釴2），有效降低了晶圓的氧化風(fēng)險(xiǎn)，并維持其干燥狀態(tài)，確保FOUP內(nèi)部環(huán)境的穩(wěn)定性。該功能的特點(diǎn)包括：
- 遵循E84標(biāo)準(zhǔn)：確保設(shè)備的安全性和穩(wěn)定性。
- 自動(dòng)吹掃功能：支持N?/XCDA自動(dòng)吹掃，簡(jiǎn)化操作流程。
- 直觀的操作界面：配備狀態(tài)指示器和觸摸屏顯示器。
- 數(shù)據(jù)讀取器：集成RFID/SMART TAG數(shù)據(jù)讀取器，實(shí)現(xiàn)晶圓數(shù)據(jù)的快速追蹤。
- 安全裝置：采用存在/放置傳感器，確保作業(yè)過程中的安全性。
- 高效搬運(yùn)：支持OHT/移動(dòng)機(jī)器人的高效搬運(yùn)，提升作業(yè)效率。
- 兼容性：符合SECS/GEM、TCP/IP等協(xié)議標(biāo)準(zhǔn)，確保設(shè)備間的兼容性。
氧氣傳感器的應(yīng)用
為了進(jìn)一步提升N2 Purge功能的有效性，氧氣傳感器被廣泛應(yīng)用于檢測(cè)氮?dú)獬淙牒蟮难鯘舛龋源_保晶圓處于保護(hù)環(huán)境中。
SST熒光氧傳感器LOX-02就非常的適用。LOX-02直接測(cè)量氧偏壓，并且內(nèi)置了氣壓傳感器測(cè)量環(huán)境大氣壓，可以由此計(jì)算出氧濃度值。LuminOx 測(cè)量氧分壓和溫度。外加氣壓傳感器可以讓傳感器輸出氧氣濃度值和氣壓值；結(jié)合了電化學(xué)傳感器傳統(tǒng)上低功耗的優(yōu)勢(shì)，非消耗傳感原理使得它具有更長(zhǎng)的壽命。
LuminOx 有氧壓和溫度補(bǔ)償，使得它可以準(zhǔn)確工作于寬環(huán)境范圍而無需額外的補(bǔ)償系統(tǒng)。不像其他傳感器技術(shù)，LuminOx 非常穩(wěn)定和環(huán)保，不含鉛或其他任何有毒材料，并且不受其他氣體交叉干擾的影響。
通過在半導(dǎo)體Load Port的N2 Purge系統(tǒng)中應(yīng)用氧氣傳感器，可以有效降低晶圓的氧化風(fēng)險(xiǎn)，確保其在傳輸和存儲(chǔ)過程中的高潔凈度和穩(wěn)定性。英國(guó)SST的LOX-02 熒光氧傳感器憑借其高精度、長(zhǎng)壽命和寬環(huán)境適應(yīng)性，成為理想的選擇。
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