UV準(zhǔn)分子放電燈，又稱(chēng)紫外線準(zhǔn)分子燈，是利用在紫外線燈管外的高壓、高頻對(duì)燈管內(nèi)的稀有氣體進(jìn)行轟擊發(fā)出單一的172nm紫外線，光子能量達(dá)696KJ/mol，高于絕大多數(shù)有機(jī)分子鍵能。利用其單一的高強(qiáng)紫外線，可實(shí)現(xiàn)很好的半導(dǎo)體、液晶屏制造中的光清洗、光改性，處理效果好，速度快。
紫外線照射固體表面后，表面的污染物有機(jī)分子結(jié)合被強(qiáng)的光能切斷、氧化，而后分解成氧氣和氫氣等易揮發(fā)性物質(zhì)，揮發(fā)消失，被清洗后的表面清潔度極高，能把膜狀的油污清洗到單分子層以下，水接觸角可達(dá)小于等于1度。
紫外線準(zhǔn)分子燈波長(zhǎng)短，比低氣壓UV放電管具有更快的處理速度和更廣泛的有機(jī)物處理對(duì)象；波長(zhǎng)單一，波長(zhǎng)范圍窄，172正負(fù)10nm，發(fā)光效率高。紅外線發(fā)生量少，溫度低，對(duì)產(chǎn)品影響??；可瞬間點(diǎn)燈，省去待機(jī)準(zhǔn)備的時(shí)間；照射的同時(shí)可進(jìn)行除靜電處理；放電管內(nèi)不充入汞等有害物質(zhì)，對(duì)環(huán)境不產(chǎn)生負(fù)面影響。
通過(guò)微波放電和介質(zhì)阻擋放電（DBD，Dielectric Barrier Discharge）等無(wú)極放電形式可制成新型的準(zhǔn)分子輻射光源，其工作物質(zhì)為Xe2（172nm），Kr2（146nm）或Ar2（126nm），其中Xe2準(zhǔn)分子光源的效率高，光能轉(zhuǎn)換效率達(dá)50%以上?，F(xiàn)已制成58×68cm的60瓦Xe2準(zhǔn)分子大面積平面照明系統(tǒng)，尤其這種燈內(nèi)無(wú)劇毒的汞元素的優(yōu)點(diǎn)，對(duì)環(huán)境保護(hù)意義深遠(yuǎn)。已有能將172nm高效轉(zhuǎn)換成可見(jiàn)光的熒光粉產(chǎn)品，并制成有實(shí)用價(jià)值的平面無(wú)汞熒光燈產(chǎn)品出售，如圖所示，它在LCD的背景照明中已獲得成功應(yīng)用。可以預(yù)言，隨著研究和工藝的深入，尤其是生產(chǎn)成本的降低，準(zhǔn)分子光源前途被人們看好。
光源由頻率為10千周、強(qiáng)度為25千伏/厘米的正弦波電場(chǎng)激勵(lì)，功耗約10瓦。介質(zhì)用二片厚度為0.22毫米的玻璃片。放電發(fā)射的真空紫外輻射的波長(zhǎng)為125納米。譜帶半值寬度為10納米。光源輻射面積為0.3×10毫米，厚度為10毫米。光源面積正好能和光譜儀的入射狹縫相匹配。這種光源有望于用作次級(jí)真空紫外標(biāo)準(zhǔn)光源。光源輻射的光譜輻亮度僅為0.2千瓦/厘米2納米立體角。而在該波長(zhǎng)處1千瓦微型壁穩(wěn)氬弧（常見(jiàn)次級(jí)紫外標(biāo)準(zhǔn)光源）的光譜輻亮度僅為0.2千瓦/厘米2納米立體角。
介質(zhì)阻擋放電的準(zhǔn)分子輻射機(jī)理可以理解如下。在介質(zhì)阻擋的微放電中嗎，平均能量為幾個(gè)電子伏特的電子有效地激發(fā)了氬原子。這些處于激發(fā)態(tài)的氬原子與周?chē)鷼逶优鲎矎?fù)合成被激發(fā)的氬準(zhǔn)分子。這種過(guò)程通常是發(fā)生在較高氣壓的條件下的，所以本光源要求在氣壓為1大氣壓下工作。當(dāng)被激發(fā)的準(zhǔn)分子向下躍遷到基態(tài)時(shí)會(huì)發(fā)射波長(zhǎng)范圍較寬的紫外輻射。它會(huì)很快地分解成氬原子。因此即使在較高氣壓下，這種光源不會(huì)發(fā)生輻射的自然吸收現(xiàn)象，光效是高的。
可見(jiàn)介質(zhì)阻擋放電準(zhǔn)分子紫外光源結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，容易制造，而且具有形式多樣可變，輸出波長(zhǎng)可以選擇、波長(zhǎng)覆蓋面大、光效高、光譜純等特點(diǎn)?？梢灶A(yù)見(jiàn)這類(lèi)新的紫外光源的出現(xiàn)和發(fā)展將促使光化學(xué)、光物理過(guò)程在高技術(shù)中得越來(lái)越多的應(yīng)用。發(fā)展這種光源成為大面積照明光源也將是可能的.
準(zhǔn)分子光源特點(diǎn)：
單色性好，紫外輸出能量集中，紫外輸出強(qiáng)度高,可達(dá)100mW/cm2；
非相干光有利于大面積加工；
無(wú)傳統(tǒng)光源固有的電極腐蝕現(xiàn)象，使用壽命極大加長(zhǎng)；
可隨時(shí)瞬間開(kāi)啟熄滅，無(wú)需預(yù)熱，無(wú)需快門(mén)，開(kāi)關(guān)次數(shù)不影響使用壽命；
開(kāi)啟和運(yùn)行不受周?chē)h(huán)境溫度影響；
冷光源，不產(chǎn)生紅外輸出，對(duì)被處理對(duì)象無(wú)明顯加熱效應(yīng)；
綠色環(huán)保。制造無(wú)需用汞，無(wú)二次污染和廢舊回收處理問(wèn)題。
波長(zhǎng)為172nm的準(zhǔn)分子真空紫外光子能量高達(dá)7.2eV，足以打開(kāi)大多數(shù)分子鍵，能實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)低壓汞燈很難或根本不能實(shí)現(xiàn)的光化學(xué)反應(yīng)，可廣泛應(yīng)用于：
表面清洗。可用于晶圓和平板顯示器制造的清洗過(guò)程，清洗掩摸，去除光刻膠；
表面刻蝕和改性（如聚酰亞胺，氟材料等）；
低溫光化學(xué)氣相沉積(Photo-CVD)。如電子薄膜Ta2O5和HfO2等；
光氧化、光退火。如對(duì)電子薄膜SiO2進(jìn)行處理以改善其化學(xué)計(jì)量性；
室溫下光催化金屬化。如在塑料表面鍍金屬電極；
表面活化，以增加表面張力和濕潤(rùn)性；
有機(jī)降解。除總有機(jī)碳（TOC）制取超純水，分解農(nóng)藥殘留，印染廢水的光化學(xué)脫色；
推薦一款可以應(yīng)用在172nm準(zhǔn)分子紫外燈中的紫外線傳感器，由工采網(wǎng)從國(guó)外引進(jìn)的高質(zhì)量紫外線傳感器 - GFUV-T10GD-L,該傳感器以氮化鎵鋁為基礎(chǔ)的材料制成，采用Schottky-type光電二極管，具有光伏模式操作，好太陽(yáng)能失明?？蓱?yīng)用到：遠(yuǎn)紫外線監(jiān)測(cè)、準(zhǔn)分子燈監(jiān)控等領(lǐng)域。
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