真空,一個低于地球大氣壓的空間,是一種物理現象,應用廣泛,如食品保鮮、節(jié)省空間、精密儀器生產等領域。真空利用的前提是保證真空度在標準范圍內,因此需要對真空度進行檢測。
真空計又稱真空規(guī),是檢測真空度和氣壓的關鍵儀器。一般是利用氣體在不同氣壓下的某些物理效應的變化來測量氣壓,其廣泛應用于科學研究和工業(yè)生產中。
就真空計本身而言,根據其測量原理、測量范圍、精度和組織結構,真空計可分為多種類型。根據真空計使用的物理機制不同,主要的真空計可分為三類,即利用機械特性的真空計、氣體動力學效應和帶電粒子效應的真空計,具體對應的真空計分類如下:
①機械特性:波爾登真空計和薄膜電容真空計;
②空氣動力學效應:皮拉尼電阻計和熱電偶計;
③帶電粒子效應:熱陰極電離計和冷陰極電離計。
下面工采網簡要說明皮拉尼電阻真空計的原理:
由于氣體分子在不同氣壓下的導熱系數不同,當恒定電流作用于熱絲時,由于氣壓不同,氣體傳導的熱量不同,熱絲所保持的溫度也會不同,從而導致熱絲的電阻不同。通過測量熱燈絲的電阻,可以計算出氣壓。

如果用電橋測量熱線電阻的變化,將有效提高測量精度。該儀表的測量范圍一般為0.1Pa至1000Pa。由于不同的氣體在相同的氣壓下導熱系數不同,這種壓力表需要在不同的氣體下進行校準。
在真空計中真正起到檢測真空度的元件其實是內部得真空傳感器,工采網技術工程師推薦使用Posifa 微型皮拉尼真空傳感器 - PVC1000系列,它依據氣體熱導率與低真空范圍的壓力成正比的原理,微型皮拉尼真空傳感器測量加熱元件電阻值的微小變化,這一變化產生的原因是熱量傳遞到周圍氣體而引起的溫度改變,與氣體熱導率相關。
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