六氟化硫因其靈敏度高、無毒、性能相對穩(wěn)定、檢測技術(shù)和方法可靠、性質(zhì)多樣、含量低，常被用作環(huán)境保護和管理行業(yè)空氣污染監(jiān)測和水文地質(zhì)問題研究的示蹤劑。此外，六氟化硫作為一種高度穩(wěn)定無毒的氣體，也廣泛應(yīng)用于環(huán)境監(jiān)測、微電子、冶金、醫(yī)藥、軍工等行業(yè)。
在微電子工業(yè)中，六氟化硫（SF 6）適用于TFT LCD面板和半導(dǎo)體廠房的清潔和蝕刻工藝。在玻璃纖維生產(chǎn)的教學(xué)過程中，它也被用作摻雜光纖隔離摻雜的單層薄膜?；鼗鸷陀猩饘勹T造的生產(chǎn)過程可以有效避免六氟化硫鎂合金熔體和氧化物的影響，也可以用于鋁及其合金的脫氣和熔體凈化。在制藥行業(yè)，CnTI先進的方法是使用超聲波造影劑，六氟化硫用作造影劑。
純凈的SF6氣體雖然無毒，但在工作場所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。我國規(guī)定,操作間空氣中六氟化硫氣體的允許濃度不大于6g/m3或空氣中氧含量應(yīng)大于18%;短期接觸,空氣中六氟化硫氣體的允許濃度不大于7.5g/m3。為監(jiān)測六氟化硫里的微量氧含量變化工采網(wǎng)推薦使用英國SST 熒光微量氧變送器 - LOX-TRACE-1000-BLX。
英國SST 熒光微量氧變送器 - LOX-TRACE-1000-BLX可以在任意氧濃度下工作，且不會損壞傳感器，而且LOX-TRACE-1000-BLX對氧氣具有高度選擇性和靈敏度，壽命長，非消耗型技術(shù)–無需存儲在惰性氣體環(huán)境中，低功耗，高精度。在一些氧含量、氧分壓的測試場氧氣合非常具有優(yōu)勢。
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