真空度是指單位體積內(nèi)所含氣體分子數(shù)量的少與常壓下的氣體分子數(shù)量。在某些特定的應(yīng)用場(chǎng)景中，需要在真空環(huán)境下進(jìn)行氣體的流量測(cè)量。比如，在半導(dǎo)體工業(yè)中，需要將氣體注入到真空腔體中，而精準(zhǔn)的氣體流量控制則是保證這個(gè)過程成功的關(guān)鍵之一。在這種情況下，如何進(jìn)行準(zhǔn)確可靠的流量測(cè)量就顯得尤為重要。

測(cè)量真空度的方法有氣壓法、氣體流量法、熱導(dǎo)法、電離法、質(zhì)譜法和殘留氣體分析法等。這些方法各有特點(diǎn)，適用于不同范圍的真空度測(cè)量。在實(shí)際應(yīng)用中，根據(jù)需要選擇合適的測(cè)量方法，以確保測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確可靠。下面工采網(wǎng)小編通過本文介紹一下真空環(huán)境氣體流量的測(cè)控方法。

真空狀態(tài)下, 氣體流量的測(cè)量具有如下特點(diǎn) :

(1) 流量密度小, 限制了渦街流量計(jì)與超聲流量計(jì)的正常使用。對(duì)于前者相應(yīng)的氣流推力過小,對(duì)于后者則會(huì)產(chǎn)生阻抗匹配的困難。

(2) 不允許引入明顯的壓力損失。真空管道上安裝流量計(jì)后增大了阻力, 產(chǎn)生較大的壓損將使動(dòng)力損耗大大增加, 不利于節(jié)能。因而孔板流量計(jì)、渦輪流量計(jì)、容積式流量計(jì)等均不適用。

（3）流量計(jì)在負(fù)壓管道上安裝后, 如果存在泄漏很難覺察, 不僅會(huì)浪費(fèi)動(dòng)力, 而且會(huì)嚴(yán)重破壞內(nèi)部氣體環(huán)境。

真空氣體流量的測(cè)量常見于測(cè)量真空氣流的過程,即利用氣體流量計(jì)測(cè)量真空開關(guān)內(nèi)氣體流量的方法來檢測(cè)真空度。在測(cè)量過程中，先將氣體流量計(jì)連接到真空開關(guān)上，然后通入一定的氣體，測(cè)量氣體通過真空開關(guān)的流量，從而計(jì)算出其真空度。需要注意的是，測(cè)量氣體流量時(shí)應(yīng)保證流量計(jì)與真空開關(guān)之間的管路盡量短，以減少氣體泄漏的可能性。

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