隨著科技的不斷發(fā)展，傳感器成為了科技發(fā)展中必不可少的重要元素，硅壓阻式壓力傳感器則是以體積小、靈敏度高、技能老練等長(zhǎng)處成為了傳感器中的新秀，目前已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。硅壓阻式壓力傳感器是采用硅壓阻原理，利用單晶硅良好的機(jī)械性能和電學(xué)性能，通過擴(kuò)散或離子注入工藝將對(duì)壓力敏感的電阻注入到感壓薄膜中，實(shí)現(xiàn)感壓元件和轉(zhuǎn)換電路的集成而制作的傳感器。在工業(yè)實(shí)踐中由于硅壓阻壓力傳感器是以硅材料為基礎(chǔ)的物性型傳感器，硅材料受環(huán)境溫度影響較大，致使零點(diǎn)漂移和靈敏度漂移，因而溫度抵償問題是進(jìn)步傳感器功能的一個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
硅壓阻式壓力傳感器 27AND37 則是采用 Measurement Specialties 專有 UltraStable? 沖模來提供大溫度范圍內(nèi)的出色性能和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。由于其特點(diǎn)該傳感器的測(cè)量?jī)x和壓差范圍在0-15 到 0-250 psi 之間可用。硅壓阻式壓力傳感器也會(huì)隨著溫度的變化，使得硅應(yīng)變片的電阻也會(huì)發(fā)生變化，同時(shí)壓阻應(yīng)變系數(shù)會(huì)發(fā)生變化，因此壓力傳感器的靈敏度和零位輸出也會(huì)產(chǎn)生變化。所以在電路中對(duì)這種變化中它使用了激光調(diào)節(jié)電阻器在 -20oC 到 +85oC 的范圍內(nèi)提供積分溫度進(jìn)行了補(bǔ)償，而無需加任何外部補(bǔ)償。其中它還包含了另外一個(gè)激光調(diào)節(jié)電阻器，可通過對(duì)外部差分放大器的增益進(jìn)行編程來標(biāo)準(zhǔn)化壓力敏感度變化。這可以提供 ±1% 的敏感度可互換性。
硅壓阻式壓力傳感器在各行業(yè)中被廣泛的應(yīng)用：例如：在醫(yī)療器械中的應(yīng)用，據(jù)稱一些大的醫(yī)療機(jī)械制殺菌每年要使用近500萬只壓力傳感器。硅壓阻式壓力傳感器擁有體積小，重量輕，靈敏度高等特點(diǎn)主要用于檢測(cè)醫(yī)用消毒柜內(nèi)的殺菌氣體的壓力，且保證氣體濃度足夠，此外他還為手術(shù)鉗之類的醫(yī)療機(jī)械提供了消毒保證。硅壓阻式壓力傳感器還可應(yīng)用于氣體流量的測(cè)量這里主要針對(duì)小流量，比如當(dāng)機(jī)器設(shè)備啟動(dòng)時(shí)，硅壓阻式壓力傳感器可以檢測(cè)到散熱設(shè)備的風(fēng)扇是否有轉(zhuǎn)動(dòng)，并且通過檢測(cè)風(fēng)扇的空氣流速和流量來確定風(fēng)扇的間歇性。除此之外硅壓阻式壓力傳感器還可檢測(cè)暖通空調(diào)管道中因不同區(qū)段安裝而含有氣壓傳感器的設(shè)備以此來檢測(cè)不同管道的氣壓大小，從而得知不同區(qū)段不同房間上的空調(diào)是否在工作。硅壓阻式壓力傳感器在撿漏中的應(yīng)用也是非常受歡迎的，它可以在密閉容器或?qū)嶒?yàn)空間內(nèi)在氣體壓強(qiáng)不變的情況下，檢測(cè)出因?yàn)闅怏w漏氣的狀態(tài)下，而導(dǎo)致氣壓產(chǎn)生變化，從中檢測(cè)出變化量，從而得知漏氣，典型應(yīng)用消毒柜，實(shí)驗(yàn)箱等。由于硅壓阻壓力傳感器通常有四個(gè)力敏電阻組成全橋式的惠斯登橋路，四個(gè)電阻雖都受到橫向壓力，但是硅壓阻壓力傳感器輸入和輸出之間還是存在著良好的線性關(guān)系，且有相似的非線性特性，所以構(gòu)成全橋時(shí)，非線性特性可相互抵消，因此非線性可以做得很小。
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