皮拉尼真空計(jì)，又有翻譯派藍(lán)尼真空計(jì)。此種真空計(jì)屬于熱傳導(dǎo)式真空計(jì)的一種

工作原理如下：

利用惠斯通電橋的補(bǔ)償原理，其中的一燈絲作為該電路的其中一個(gè)電阻。當(dāng)燈絲所在的氣體分子密度改變時(shí)，其熱導(dǎo)率會(huì)有所不同，因此燈絲所表現(xiàn)的溫度也會(huì)不同，間接影響電阻值的大小。固定電壓，固定電流以及固定溫度中以一種方法做敏感。值得注意的是，不同氣體的熱導(dǎo)率不同，因此在測(cè)量的時(shí)候要刻度上需要校對(duì)。

此行真空計(jì)通過(guò)測(cè)量一發(fā)熱體與一接收發(fā)熱體之間的熱傳導(dǎo)程度來(lái)判斷氣體的壓力。

當(dāng)Kn值（克努森數(shù)）在0.01 <Kn< 10 之間時(shí)，熱傳導(dǎo)的量與壓力成正比。

在低壓力時(shí)，熱的失散可以通過(guò)三種途徑，分別是周?chē)鷼怏w的導(dǎo)熱，熱輻射，以及支柱發(fā)熱體的主干。

為了使測(cè)量壓力的精確度提高，因盡可能的避免后兩種的熱量損失。

皮拉尼真空機(jī)中的惠斯通電橋電路一般采用熱導(dǎo)式的傳感器，深圳市工采網(wǎng)專(zhuān)業(yè)提供此類(lèi)傳感器MTCS2601，具體如下：

熱導(dǎo)式傳感器MTCS2601的特點(diǎn)：

? MEMS 傳感器遵循沒(méi)有化學(xué)反應(yīng)的物理皮拉尼原理，基于氣體熱導(dǎo)率變化對(duì)于壓力
? 測(cè)量范圍： 0.0001~1000mbar，卓越的可重復(fù)性
? 硅晶片上有加熱電阻，并且有優(yōu)異的溫度補(bǔ)償
? 超小的傳感器氣體體積例如<0.1cm3
? 穩(wěn)定和長(zhǎng)的 MTBF（>30000 小時(shí)），基于物理阻抗感應(yīng)原理
? 超低功耗消耗（<6mW） ,由于使用了帶小加熱元件的 MEMS 傳感器
? 超快響應(yīng)時(shí)間<50mS
? 對(duì)安裝位置不敏感
? 可以使用在串?dāng)_氣體環(huán)境中
? 與一個(gè)簡(jiǎn)單恒定的溫度電路兼容

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