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標簽: 流量控制
氣體質(zhì)量流量傳感器在等離子體的流量控制應(yīng)用方案
冷等離子體是等離子體的一種近似模型。是指它假定等離子體的溫度為零,用來討論熱效應(yīng)可以忽略的物理過程。冷等離子體，有時被稱為非熱等離子體或非平衡等離子體，是一種特... 繼續(xù)閱讀 »
變風量系統(tǒng)(VAV)流量控制解決方案
變風量（Variable Air Volume）空調(diào)系統(tǒng)是一種可以根據(jù)室內(nèi)負荷需求變化或室內(nèi)要求參數(shù)，通過改變送風量來調(diào)節(jié)室內(nèi)溫濕度的空調(diào)系統(tǒng)，特色是能夠準確靈... 繼續(xù)閱讀 »
熱式質(zhì)量流量傳感器在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的流量控制技術(shù)方案
半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的某些工藝涉及氣體與半導(dǎo)體基片的反應(yīng)，比如沉積工藝和刻蝕工藝，氣體的流量將對工藝結(jié)果產(chǎn)生重要影響。為了使生產(chǎn)的半導(dǎo)體獲得較高的良品率，必須對流入... 繼續(xù)閱讀 »
