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MEMS制造技術(shù)及應(yīng)用詳解
MEMS是一種制造技術(shù),諸如杠桿、齒輪、活塞、發(fā)動(dòng)機(jī)甚至蒸汽機(jī)都是由MEMS制造的。相比于芯片制造業(yè)越來(lái)越被普通人熟知,而與芯片采用相同工藝的MEMS技術(shù)顯得有... 繼續(xù)閱讀 »
MEMS是一種制造技術(shù),諸如杠桿、齒輪、活塞、發(fā)動(dòng)機(jī)甚至蒸汽機(jī)都是由MEMS制造的。相比于芯片制造業(yè)越來(lái)越被普通人熟知,而與芯片采用相同工藝的MEMS技術(shù)顯得有... 繼續(xù)閱讀 »