真空箱式氦氣檢漏系統(tǒng)由于檢漏率高、單次檢測次數(shù)多、操作簡單、運(yùn)行成本低，已成為大型工件和電子設(shè)備生產(chǎn)線批量檢漏的主要方式。根據(jù)檢漏方式的不同，真空箱式氦檢漏系統(tǒng)可分為氦壓真空箱式檢漏和充氦檢漏回收兩種方式。

充氦檢漏原理：泄漏的氦氣到達(dá)氦檢測器中的電離器，被燈絲發(fā)射的電子束電離。在離子被特定的電壓加速后，它們飛到氦檢測器的磁場中進(jìn)行偏轉(zhuǎn)。根據(jù)質(zhì)量差異，得到不同的偏轉(zhuǎn)半徑，篩選出氦離子到達(dá)分析管，產(chǎn)生微電流。經(jīng)過高性能、低噪聲放大后，得到可讀的電流信號，通過標(biāo)定建立泄漏率關(guān)系，確定泄漏率。

氦氣檢測是一種質(zhì)譜檢測方法，將氦氣作為示蹤氣體注入到待檢測的工件中，通過質(zhì)量分析管將工件泄漏的氦氣轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的微電流信號，從而確定氦氣的泄漏量，進(jìn)而確定工件的泄漏是否合格。

氦是除氫之外輕的氣體，這正是氦檢所利用的，當(dāng)氦氣注入被測管道時，在自然狀態(tài)下會垂直向上擴(kuò)散，如果管道有泄漏，我們可以通過氦氣檢測儀檢測氦氣的百分比濃度，利用氦氣分子很小，很容易進(jìn)入那些肉眼檢測不到的小孔，來判斷管道系統(tǒng)的泄漏率是否符合國家標(biāo)準(zhǔn)。這就是管道氦氣檢漏的方法。

對于一些高精度的精細(xì)電子元件，要測試的元件放在一個充滿氦氣的容器中，并加壓；在壓力的作用下，如果這些部件有泄漏點(diǎn)，氦氣必然會通過這些小孔進(jìn)入部件。用壓縮空氣吹掃元件表面少量殘留的氦氣后，用質(zhì)譜儀檢測元件表面泄漏的氦氣。氦氣濃度檢測工采網(wǎng)技術(shù)工程師推薦使用熱導(dǎo)式氣體傳感器：

荷蘭Xensor 熱導(dǎo)式氣體傳感器 - XEN-TCG3880，傳感器芯片包含了2.5*3.33mm 的硅晶片，0.3mm的厚度，有一層氮化硅的薄膜，可進(jìn)行熱導(dǎo)率的測量，空氣中的He、CO2、H2、N2等氣體濃度的測量。

瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器 - MTCS2601，或者基于帕拉尼原理的真空度檢測，需要超低功耗，長壽命和免維護(hù)的產(chǎn)品。適用于惡劣環(huán)境下初級壓力控制，需要功耗和尺寸的限制，或者是氣體泄漏或者水分，或者侵入。

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