空氣潔凈度等級
空氣潔凈度等級是潔凈環(huán)境中空氣中含懸浮粒子量的多少的程度,通??諝庵泻瑝m濃度高則空氣潔凈度低,含塵濃度低則空氣潔凈度高。按空氣中懸浮粒子濃度來劃分潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度等級,就是以每立方米空氣中的zui大允許粒子數(shù)來確定其空氣潔凈度等級。
空氣中縣浮粒子潔凈度等級,過去有關(guān)國家都各制定自己的標(biāo)準(zhǔn),但基本上都是參照美國標(biāo)準(zhǔn)FS-209的各版進(jìn)行,僅單位制及命名方法有所變換或改變。在命名上基本可分為兩類,一是以單位體積空氣中大于等于規(guī)定粒徑的粒子個(gè)數(shù)直接命名或以符號命名,這種命名方法以美國標(biāo)FS-209A--D版為代表,其規(guī)定粒徑為0.5um,以空氣中大于等于0.5um粒徑的粒子濃度采用英制pc/ft3直接命名,如該標(biāo)準(zhǔn)中的100級,即空氣中大于等于0.5um粒徑的粒子濃度為100pc/ft3直接命名,雖然該標(biāo)準(zhǔn)是英制單位,但在各國得到較普遍的使用。另一類是以單位體積空氣中大于等于規(guī)定粒徑的粒子個(gè)數(shù)以10n表示,按指數(shù)n命名空氣潔凈度等級,這種命名方法以日本標(biāo)準(zhǔn)JIS B9920為代表,其規(guī)定粒徑為0.1um以大于等于0.1um粒徑的空氣中粒子濃度(國際單位制)10npc/m3命名為n級,如該標(biāo)準(zhǔn)的2級,其大于等于0.1um粒徑的空氣中粒子濃度為100pc/m3,即10 2pc/m3,俄羅斯的標(biāo)準(zhǔn)亦基本上采用此種命名方法。
實(shí)際上過去各國制定的潔凈標(biāo)準(zhǔn)的潔凈度等級僅是命名方法,僅有形式的不同,并無實(shí)質(zhì)的差別,它們在各自的某一等級下的定義粒徑的粒子濃度(D)相應(yīng)于被考慮粒徑,即要求控制的粒徑(d),其關(guān)系均為ND /Nd=(D/d)X,式中指數(shù)X,在各個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中都在2—2.2范圍,計(jì)算結(jié)果與被考慮粒徑(d)的粒子/濃度(Nd)相差很小,即在某一被考慮粒徑(d)下的空氣潔凈度等級的粒子濃度為100pc/m3,亦就是說粒徑大于等于d的粒子濃度為100pc/m3。對各國的標(biāo)準(zhǔn)其等級稱謂是不同的,但按其各自標(biāo)準(zhǔn)的換算,在同一被考慮粒徑(d)時(shí),其粒子濃度限值都基本相同(100pc/m3)。
現(xiàn)在國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644—1已發(fā)布實(shí)施,美國標(biāo)準(zhǔn)FS—209E亦于2001年11月宣布停止使用。
按國際標(biāo)準(zhǔn),空氣中懸浮粒子潔凈度等級以序數(shù)N命名,各種被考慮粒徑D的zui大允許濃度n可用公式(1-1)確定〔〕。Cn=10N×(0.1/D) 2.08
式中C-----被考慮粒徑的空氣懸浮粒子zui大允許濃度, pc/m3。Cn是以四舍五入至相近的整數(shù),通常有效位數(shù)不超過三位數(shù);
N ---分級序數(shù),數(shù)字不超過9,分級序數(shù)整數(shù)之間的中間數(shù)可以作規(guī)定,N的小允許增量為0.1;
D-----被考慮的粒徑,um;
0.1-----常數(shù),其量綱為um。
潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度占用狀態(tài)有三種:空態(tài)、靜態(tài)和動態(tài)。它們定義分別如下??諔B(tài)空態(tài)(as-builr):設(shè)施已經(jīng)建成,所有動力接通并運(yùn)行,但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員。
靜態(tài)(at-rest):設(shè)施已經(jīng)建成,生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝,并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運(yùn)行,得無人員。
動態(tài)(operational):設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運(yùn)行,有規(guī)定的人員在場,并在商定的狀況下進(jìn)行工作。
這里所謂的潔凈室(區(qū))是指空氣懸浮粒子濃度,含菌濃度受控的房間(限定的空間),房間(空間)的建造和使用方式要盡可能減少室內(nèi)引入、產(chǎn)生和滯留粒子等,房間(空間)內(nèi)其他相關(guān)參數(shù)如溫度、相對濕度和壓力按要求進(jìn)行控制,潔凈區(qū)可以是開放式或密閉式,可以位于或不位于潔凈室內(nèi)。這里所謂的“設(shè)施”是指潔凈室或一個(gè)或多個(gè)潔凈區(qū),連同所有相關(guān)的構(gòu)筑物、空氣處理系統(tǒng)、動力和公用設(shè)施。
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