在工業(yè)自動(dòng)化中，傳感器在使產(chǎn)品智能化和自動(dòng)化方面發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。傳感器幫助人們檢測(cè)、分析、測(cè)量和處理各種變化，如工業(yè)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的位置、長(zhǎng)度、高度、外部和錯(cuò)位的變化。工業(yè)自動(dòng)化中使用的主要傳感器包括壓力傳感器、真空傳感器、振動(dòng)傳感器等。
壓力傳感器：廣泛用于工業(yè)和液壓系統(tǒng)，這些高壓工業(yè)自動(dòng)化傳感器也用于氣候控制系統(tǒng)。
真空傳感器：當(dāng)真空壓力低于大氣壓時(shí)，很難用機(jī)械方法檢測(cè)，所以采用真空傳感器，這些傳感器通常取決于電阻與溫度相關(guān)的加熱絲。當(dāng)真空壓力增大時(shí)，對(duì)流減小，導(dǎo)線溫度升高。電阻成比例增加，并在壓力附近校準(zhǔn)，以有效測(cè)量真空。
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真空度是指氣體在大氣壓以下的稀薄程度，通常用壓力來(lái)表示。高壓表示真空度低，低壓表示真空度高。由于真空傳感器上方的腔體是真空腔體，在大氣壓下，作為傳感器敏感元件的硅膜片會(huì)在壓力的作用下向上凸起。
氣體真空度與單位體積內(nèi)的空氣分子數(shù)成正比，單位體積的空氣分子數(shù)不同，電阻絲的溫度就不同，因?yàn)殡娮杞z的電阻率是關(guān)于溫度的函數(shù)，所以不同的真空度就會(huì)導(dǎo)致電阻的不同。根據(jù)電阻的變化就能夠測(cè)量出氣體的真空度。
工采網(wǎng)代理了瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器MTCS2601，可以檢測(cè)真空度，該傳感器結(jié)合了低功耗 CMOS 標(biāo)準(zhǔn)集成電路，非常適合 OEC廠商的泄漏檢測(cè)，或者基于帕拉尼原理的真空度檢測(cè)，需要超低功耗，長(zhǎng)壽命和免維護(hù)的產(chǎn)品。
另外還有Posifa 微型皮拉尼真空傳感器PVC1000系列，依據(jù)氣體熱導(dǎo)率與低真空范圍的壓力成正比的原理，微型皮拉尼真空傳感器測(cè)量加熱元件電阻值的微小變化，這一變化產(chǎn)生的原因是熱量傳遞到周圍氣體而引起的溫度改變，與氣體熱導(dǎo)率相關(guān)。
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