隨著城市化進(jìn)程的加快和技術(shù)的發(fā)展，智能燃?xì)獗碜鳛橐环N新型能源計量設(shè)備，逐漸成為燃?xì)庑袠I(yè)的核心部分。其不僅提升了能源計量的準(zhǔn)確性和便捷性，還顯著提高了燃?xì)馄髽I(yè)的管理水平和運營效率。在這一背景下，MEMS熱式氣體流量傳感器因其獨特的優(yōu)勢而被廣泛應(yīng)用于智能燃?xì)獗淼脑O(shè)計與制造中。

熱式技術(shù)是一項測量氣體和液體流量的成熟技術(shù)。技術(shù)進(jìn)步和設(shè)備微型化使得該技術(shù)能大批量應(yīng)用于對成本敏感的領(lǐng)域，如天然氣計量。一些研究也證實了熱式技術(shù)在惡劣環(huán)境中的長期可靠性。另，2021年歐洲最新發(fā)布了專用標(biāo)準(zhǔn)（EN 17526），由此可看出熱式技術(shù)是一項經(jīng)濟(jì)、成熟、可靠的燃?xì)庥嬃拷鉀Q方案，全球已有六百萬燃?xì)獗硎芤嬗谠摷夹g(shù)。此外，該技術(shù)還具有強(qiáng)大的自診斷，自適應(yīng)和泄漏檢測功能，可廣泛用于天然氣，氫氣混合氣體（23%）和純氫氣的檢測。

智能燃?xì)獗硎袌鰬?yīng)用領(lǐng)域

居民家庭領(lǐng)域

居民家庭是智能燃?xì)獗淼闹饕獞?yīng)用領(lǐng)域之一。隨著居民生活水平的提高和環(huán)保意識的增強(qiáng)，智能燃?xì)獗碓诩彝ヮI(lǐng)域的應(yīng)用越來越廣泛。智能燃?xì)獗砜梢詫崿F(xiàn)對家庭燃?xì)馐褂玫膶崟r監(jiān)控和管理，提高能源利用效率，減少能源浪費。此外，智能燃?xì)獗磉€方便了用戶的繳費和查詢操作，提高了用戶體驗。

商業(yè)樓宇領(lǐng)域

商業(yè)樓宇對智能燃?xì)獗淼男枨笠苍诓粩嘣黾印Ｖ悄苋細(xì)獗砜梢詫崿F(xiàn)對商業(yè)樓宇燃?xì)馐褂玫木?xì)化管理，降低企業(yè)運營成本。此外，智能燃?xì)獗磉€可以為商業(yè)樓宇提供安全、可靠的燃?xì)夤?yīng)保障，提高樓宇的整體管理水平。

工業(yè)領(lǐng)域

在工業(yè)領(lǐng)域，智能燃?xì)獗淼膽?yīng)用也越來越廣泛。智能燃?xì)獗砜梢詫崿F(xiàn)對工業(yè)生產(chǎn)過程的實時監(jiān)控和優(yōu)化調(diào)度，提高生產(chǎn)效率和能源利用效率。此外，智能燃?xì)獗磉€可以為工業(yè)企業(yè)提供安全、可靠的燃?xì)夤?yīng)保障，確保生產(chǎn)的順利進(jìn)行。

公共設(shè)施領(lǐng)域

智能燃?xì)獗碓诠苍O(shè)施領(lǐng)域的應(yīng)用也在逐漸增加。例如，學(xué)校、醫(yī)院、圖書館等公共設(shè)施可以通過安裝智能燃?xì)獗?，實現(xiàn)對燃?xì)馐褂玫木?xì)化管理，降低運營成本。同時，智能燃?xì)獗磉€可以為公共設(shè)施提供安全、可靠的燃?xì)夤?yīng)保障，提高公共設(shè)施的整體服務(wù)水平。

MEMS熱式質(zhì)量燃?xì)獗砑皞鞲衅鲬?yīng)用

MEMS熱式質(zhì)量燃?xì)獗硎腔谖C(jī)電系統(tǒng)技術(shù)制造，采用具有熱式質(zhì)量流量原理的流量傳感器芯片，研制出的新一代全電子智能式燃?xì)獗?，無需溫度、壓力補(bǔ)償即可實現(xiàn)燃?xì)饬髁康馁|(zhì)量計量。 MEMS熱式質(zhì)量燃?xì)獗頍o可動部件、響應(yīng)快、超寬量程、低壓損，易維護(hù)并具有IC卡預(yù)付費和物聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程抄表功能。隨著天然氣的需求增加每家每戶已經(jīng)慢慢的使用上了天然氣，使用天然氣需求燃?xì)獗砣ビ嬃?，MEMS熱式質(zhì)量燃?xì)獗淼男枨笤絹碓綇V泛。

MEMS熱式質(zhì)量燃?xì)獗硎切枰獰崾劫|(zhì)量的流量芯片去設(shè)計的，必不可少的。推薦可以采用工采網(wǎng)的氣體流量傳感器AFE-01。AFE-01的流量芯片，是歐洲原始生產(chǎn)廠家代工的公司。開發(fā)了裝配有流速檢測元件的MEMS流量傳感器。擁有引以為傲的高級別靈敏度，可以精確檢測達(dá)到0.001m/s的氣體流速變化。生產(chǎn)出體積只有5 mm x 3.5 mm x 0.2 mm的芯片。

其測試原理：AFE-01流量傳感器由四個鉑薄膜電阻組成，基于流速的函數(shù)，利用傳熱原理來確定流速。在無流動的情況下，兩個電阻被同等加熱。如果出現(xiàn)流動，熱量從傳感器傳遞到介質(zhì)，其中一個比另一個更冷，這取決于流動的方向。如果流量增加，傳遞的熱量也會增加。通過了解熱傳遞，可以從維持恒定溫度所需的電壓補(bǔ)償量來確定流速。同時AFE-01流量芯片因為體積小且耐高溫（-20°C~150°C的工作環(huán)境），很好的溫度補(bǔ)償電路，非常適合測試燃?xì)庵械母鞣N氣體。

AFE-01具有以下特點:

體積非常小，雙流向檢測、檢測小質(zhì)量物體的流動、簡單的信號處理電路和標(biāo)定、完全固定的機(jī)械元件、優(yōu)異的重復(fù)性、優(yōu)異的長期穩(wěn)定性、適用于多種行業(yè)或安裝到不同外殼。如圖：

特性：測量原理：熱量原理

檢測量程：0 ... 50 m/s （以CTA模式的電路為例）

靈敏度：0.001 m/s

精 度：< 2%測量值（取決于電路和標(biāo)定）

響應(yīng)時間：T63% < 0.5 S

溫度范圍：-20…… +150 °C

電氣連接：絕緣漆包銅線 (一般長度25 mm)

加熱元件：RH (25°C) = 34Ω± 10%

檢測元件：Rs_i (25°C) = 425Ω±10%

參考元件：RR (25°C) = 710Ω± 10%

供電電壓：一般為 2~5 V（取決于氣體流速）

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