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流量控制器在半導(dǎo)體加工工藝化學(xué)氣相沉積(CVD)的應(yīng)用

流量控制器在半導(dǎo)體加工工藝化學(xué)氣相沉積(CVD)的應(yīng)用

薄膜沉積是在半導(dǎo)體的主要襯底材料上鍍一層膜。這層膜可以有各種各樣的材料,比如絕緣化合物二氧化硅,半導(dǎo)體多晶硅、金屬銅等。用來(lái)鍍膜的這個(gè)設(shè)備就叫薄膜沉積設(shè)備。薄膜... 繼續(xù)閱讀 »