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氧氣分析儀在半導體設備硅片承載區(qū)域氧含量監(jiān)測控制方法

氧氣分析儀在半導體設備硅片承載區(qū)域氧含量監(jiān)測控制方法

小小筆者 儀器儀表,解決方案 2023-03-28 10:39 0 537

半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料，是電子產(chǎn)品的核心。在電子半導體器件制造中，單晶硅的氧濃度會嚴重影響單晶硅產(chǎn)品的性能，也是單晶硅生長過程中較難控... 繼續(xù)閱讀 »