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標(biāo)簽: 氧含量
氧氣分析儀在半導(dǎo)體設(shè)備硅片承載區(qū)域氧含量監(jiān)測控制方法
半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料,是電子產(chǎn)品的核心。在電子半導(dǎo)體器件制造中,單晶硅的氧濃度會(huì)嚴(yán)重影響單晶硅產(chǎn)品的性能,也是單晶硅生長過程中較難控... 繼續(xù)閱讀 »
半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料,是電子產(chǎn)品的核心。在電子半導(dǎo)體器件制造中,單晶硅的氧濃度會(huì)嚴(yán)重影響單晶硅產(chǎn)品的性能,也是單晶硅生長過程中較難控... 繼續(xù)閱讀 »