在半導(dǎo)體器件的制造過(guò)程中，各種真空處理室通常用于執(zhí)行特定的處理，例如薄膜沉積、蝕刻、氧化或氮化、熱處理等。在真空環(huán)境中待處理的半導(dǎo)體襯底上。另一方面，將半導(dǎo)體襯... 繼續(xù)閱讀 »