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標簽: 質(zhì)量流量控制器
PECVD氣體及流量控制系統(tǒng)中質(zhì)量流量控制器的應用
在半導體制造行業(yè)，精密工藝控制對于確保產(chǎn)品質(zhì)量和提升生產(chǎn)效率非常重要。等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）技術(shù)作為一項關(guān)鍵技術(shù)，在薄膜沉積工藝中扮演著重要角色... 繼續(xù)閱讀 »
氣體質(zhì)量流量控制器MFC4000在氫燃料電池中的應用
燃料電池簡介及氣體流量控制的重要性 氫燃料電池是將氫氣和氧氣的化學能直接轉(zhuǎn)換成電能的發(fā)電裝置。其基本原理是電解水的逆反應，把氫和氧分別供給陽極和陰極，氫通過陽極... 繼續(xù)閱讀 »
一氧化氮治療儀質(zhì)量流量控制器MFC2000
一氧化氮(no)是一種信號分子，其具有控制血流、控制炎癥、控制細菌、病毒和真菌感染、刺激組織和膠原再生以及動員干細胞遷移的公認的能力。1987年美國和英國的兩個... 繼續(xù)閱讀 »
IST流量傳感器在質(zhì)量流量控制器中的應用
熱式MFC/MFM，也就是熱式質(zhì)量流量控制器，是一種用于通過測量流體的質(zhì)量流量來控制流量的設備。在終端應用中，MFC的失準或制造缺陷會導致晶圓產(chǎn)量下降，甚至會損... 繼續(xù)閱讀 »
氣體質(zhì)量流量計在質(zhì)量流量控制器中的應用技術(shù)方案
質(zhì)量流量控制器是一種新型流量計量、監(jiān)控儀表，也是一種無須溫度、壓力補償就能方便而且監(jiān)測在管道中流動的不同氣體。其工作原理是將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大... 繼續(xù)閱讀 »
在質(zhì)量流量控制器的應用中IST流量傳感器的作用 ? ? ?
質(zhì)量流量控制器，即 Mass Flow Controller(縮寫為MFC)，不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流... 繼續(xù)閱讀 »
