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IST流量傳感器在質(zhì)量流量控制器中的應(yīng)用
熱式MFC/MFM，也就是熱式質(zhì)量流量控制器，是一種用于通過(guò)測(cè)量流體的質(zhì)量流量來(lái)控制流量的設(shè)備。在終端應(yīng)用中，MFC的失準(zhǔn)或制造缺陷會(huì)導(dǎo)致晶圓產(chǎn)量下降，甚至?xí)p... 繼續(xù)閱讀 »
在質(zhì)量流量控制器的應(yīng)用中IST流量傳感器的作用 ? ? ?
質(zhì)量流量控制器，即 Mass Flow Controller(縮寫(xiě)為MFC)，不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶(hù)可根據(jù)需要進(jìn)行流... 繼續(xù)閱讀 »
