近年來，隨著電子行業(yè)的快速發(fā)展，電子氣體在半導(dǎo)體行業(yè)中的地位日益突出。電子特種氣體在集成電路制造中應(yīng)用廣泛，涉及很多制造環(huán)節(jié)。其中，惰性氣體主要用作保護(hù)氣體，常... 繼續(xù)閱讀 »