近年來，隨著電子行業(yè)的快速發(fā)展，電子氣體在半導(dǎo)體行業(yè)中的地位日益突出。電子特種氣體在集成電路制造中應(yīng)用廣泛，涉及很多制造環(huán)節(jié)。其中，惰性氣體主要用作保護(hù)氣體，常用于高溫烘烤或清洗過程中，如氮?dú)狻鍤?、氦氣等?/p>
作為集成電路制造的關(guān)鍵材料，隨著下游工業(yè)技術(shù)的快速迭代，電子特種氣體的精細(xì)化程度不斷提高，尤其是在純度和精度方面。比如純度方面，一般工業(yè)氣體要求在99.99%左右，但在先進(jìn)集成電路制造過程中，要求氣體純度在6N(99.9999%)以上。
集成電路產(chǎn)業(yè)是先進(jìn)制造業(yè)的基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)，下游應(yīng)用覆蓋汽車、通信、電器、計(jì)算機(jī)、航空航天、軍工、光伏等主要行業(yè)。半導(dǎo)體集成電路技術(shù)的進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，催生和推動(dòng)了物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、大數(shù)據(jù)、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)等新興產(chǎn)業(yè)。
說到集成電路，就不得不提“硅”。硅是集成電路生產(chǎn)中重要的原材料，硅片市場(chǎng)約占整個(gè)半導(dǎo)體材料市場(chǎng)的三分之一。目前，90%以上的集成電路芯片都是以硅片為襯底的。可以說，硅是集成電路的承載基礎(chǔ)。
在集成電路制造過程中，經(jīng)常會(huì)用到高純電子氣體，如N2、H2、O2、Ar、he等，常用于高溫?zé)嵬嘶稹⒈Ｗo(hù)氣體、清洗氣體等。此外，硅生產(chǎn)設(shè)備的單晶爐也離不開惰性氣體。單晶爐是在惰性氣體(主要是氮?dú)夂秃?環(huán)境下，用石墨加熱器熔化多晶硅等多晶材料，用提拉法生長(zhǎng)無位錯(cuò)單晶硅的一種設(shè)備。在單晶硅的實(shí)際生產(chǎn)中，它對(duì)控制硅晶體的溫度和質(zhì)量起著關(guān)鍵作用。
電子氣體的使用也不是隨心所欲的，不同的使用環(huán)境對(duì)濃度有不同的要求。這就需要對(duì)電子特氣濃度進(jìn)行監(jiān)測(cè)，工采網(wǎng)技術(shù)工程師推薦使用熱導(dǎo)式氣體傳感器來檢測(cè)電子特氣濃度。工采網(wǎng)代理的多個(gè)品牌的熱導(dǎo)式氣體傳感器如以下幾款：
德國HLP 熱導(dǎo)式氣體傳感器 - TCS208F，采用MEMS 加工技術(shù)生產(chǎn)，利用被測(cè)組份和參考?xì)怏w的熱導(dǎo)系數(shù)不同而響應(yīng)的濃度型傳感器。
瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器 - MTCS2601，基于帕拉尼原理的真空度檢測(cè)，需要超低功耗，長(zhǎng)壽命和免維護(hù)。
荷蘭Xensor 高速響應(yīng)熱導(dǎo)式氣體傳感器 - XEN-5320-ALU，傳感器探頭外露，響應(yīng)速度超快，T90響應(yīng)時(shí)間< 1 s，可用于醫(yī)療、R&D和工業(yè)環(huán)境中，氫氣H2、氦氣He、二氧化碳CO2、氮?dú)釴2及甲烷CH4氣體混合的監(jiān)控和泄漏檢測(cè)。
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