真空泵是一種利用機(jī)械、物理、化學(xué)、物理和化學(xué)等方法對容器抽真空，以獲得并保持真空的裝置的氣體輸送器械。它將低于大氣壓的環(huán)境中的氣體輸送到大氣中，或在同一環(huán)境中以大氣壓輸送氣體。真空泵的作用是從真空室內(nèi)抽出氣體分子，使設(shè)備內(nèi)的壓力低于整機(jī)大氣壓，使真空室內(nèi)的氣體壓力降低，達(dá)到所要求的真空度。
隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類繁多，其抽速從每秒零點(diǎn)幾升到每秒幾十萬或幾百萬升不等。極限壓力（極限真空）范圍從粗真空到10-12Pa以上的極高真空。為了保證真空泵能達(dá)到較高的真空度，必須保證真空泵轉(zhuǎn)子之間的間隙。因此，在使用真空泵時(shí)，必須配備前級泵。
前級真空泵是指排氣至大氣壓力的真空泵。用前級泵將系統(tǒng)中的壓力抽到一定范圍后再啟動(dòng)真空泵，以免真空泵超負(fù)荷運(yùn)行。它們還需要支持輔助泵或?qū)崿F(xiàn)其運(yùn)行的初始條件。后備泵可選用水（液）環(huán)真空泵、旋片真空泵、滑閥真空泵、往復(fù)式真空泵等直接排氣的真空泵。
由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力范圍很廣，任何類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍。只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求采用不同的型式。真空泵。為了使用的方便和各種真空工藝的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求進(jìn)行組合，以單元式應(yīng)用。真空泵抽的真空度測量一般使用傳感器來監(jiān)測，如工采網(wǎng)代理的以下兩款真空度檢測的傳感器：
瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器 - MTCS2601，遵循沒有化學(xué)反應(yīng)的物理皮拉尼原理，可以使用在串?dāng)_氣體環(huán)境中，，與一個(gè)簡單恒定的溫度電路兼容。
瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器 微型皮拉尼真空計(jì)?- MTCS2300系列，采用鎳鉑電阻MEMS技術(shù)， 將一個(gè)大微機(jī)械低應(yīng)力氮化硅膜、兩個(gè)加熱用薄膜電阻以及體硅上的兩個(gè)補(bǔ)償用參考電阻，集成在微型封裝中。
荷蘭Xensor熱導(dǎo)式氣體傳感器- XEN-TCG3880：是用硅技術(shù)制造的熱導(dǎo)式傳感器。傳感器芯片包含了2.5*3 33mm的硅晶片, 0.3mm的厚度,有一層氮化硅的薄膜，可用于10mPa~10KPa之間的真空度測量。
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