真空泵是一種利用機械、物理、化學、物理和化學等方法對容器抽真空，以獲得并保持真空的裝置的氣體輸送器械。它將低于大氣壓的環(huán)境中的氣體輸送到大氣中，或在同一環(huán)境中以大氣壓輸送氣體。真空泵的作用是從真空室內(nèi)抽出氣體分子，使設備內(nèi)的壓力低于整機大氣壓，使真空室內(nèi)的氣體壓力降低，達到所要求的真空度。
隨著真空應用的發(fā)展，真空泵的種類繁多，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬或幾百萬升不等。極限壓力（極限真空）范圍從粗真空到10-12Pa以上的極高真空。為了保證真空泵能達到較高的真空度，必須保證真空泵轉(zhuǎn)子之間的間隙。因此，在使用真空泵時，必須配備前級泵。
前級真空泵是指排氣至大氣壓力的真空泵。用前級泵將系統(tǒng)中的壓力抽到一定范圍后再啟動真空泵，以免真空泵超負荷運行。它們還需要支持輔助泵或?qū)崿F(xiàn)其運行的初始條件。后備泵可選用水（液）環(huán)真空泵、旋片真空泵、滑閥真空泵、往復式真空泵等直接排氣的真空泵。
由于真空應用部門所涉及的工作壓力范圍很廣，任何類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍。只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求采用不同的型式。真空泵。為了使用的方便和各種真空工藝的需要，有時將各種真空泵按其性能要求進行組合，以單元式應用。真空泵抽的真空度測量一般使用傳感器來監(jiān)測，如工采網(wǎng)代理的以下兩款真空度檢測的傳感器：
瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器 - MTCS2601，遵循沒有化學反應的物理皮拉尼原理，可以使用在串擾氣體環(huán)境中，，與一個簡單恒定的溫度電路兼容。
瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器 微型皮拉尼真空計?- MTCS2300系列，采用鎳鉑電阻MEMS技術(shù)， 將一個大微機械低應力氮化硅膜、兩個加熱用薄膜電阻以及體硅上的兩個補償用參考電阻，集成在微型封裝中。
荷蘭Xensor熱導式氣體傳感器- XEN-TCG3880：是用硅技術(shù)制造的熱導式傳感器。傳感器芯片包含了2.5*3 33mm的硅晶片, 0.3mm的厚度,有一層氮化硅的薄膜，可用于10mPa~10KPa之間的真空度測量。
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